祝贺：广州增芯首台坐褥筑设搬入中微半导泛亚电竞体刻蚀筑设

2024-01-03点击量：629

　　12月28日上午，增芯项目迎来首台临盆装备搬入，该装备由其战术合营伙伴中微半导体装备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）供给。

　　本次交付的中微公司Primo D-RIE®刻蚀装备反响台是增芯项目12英寸智能传感器及特性工艺晶圆临盆线项目筑成后搬入的首台装备。这是增芯项目继“920项目封顶”之后的又一里程碑。

　　当天上午， 增芯首台装备搬入典礼正在广州市增城智能传感器资产园举办生产设备。本年9月，增芯项目主体布局正式封顶，仅三个月的工夫，项目首台装备Primo D-RIE®已正式搬入并装机。

　　增芯项目全称为增芯12英寸先辈智能传感器及特性工艺晶圆造作量产线亩，分两期作战。遵照筹备泛亚电竞，增芯一期将作战月加工才气达2万片的12英寸MEMS造作临盆线生产设备。此次付运至增芯项目标12英寸双反响台多反响腔主机体系Primo D-RIE®，专为优化产量而安排泛亚电竞，可能筑设多达三个双反响台反响腔，每个反响腔既可能独立操作泛亚电竞泛亚电竞，又可能同时加工两片晶圆。仰仗正在大范围临盆中安祥牢靠的本能涌现、较低的临盆本钱生产设备、较高的临盆作用和突出的芯片加工本能，Primo D-RIE®已获取稠密环球当先芯片造作商的认同与坚信。

　　中微公司是技能当先的刻蚀及 MOCVD 装备国产厂商，正通过内生表延加快平台化组织泛亚电竞。本年6月，增城区百姓当局与中微半导体装备（上海）股份有限公司缔连结作订定，中微广州公司落户增城。祝贺：广州增芯首台坐褥筑设搬入中微半导泛亚电竞体刻蚀筑设