佳能押注“纳米压印”芯片坐褥建建：比ASML E泛亚电竞UV售价少一位数

2023-11-08点击量：573

　　目前，极紫表光刻机（EUV）的独一供应商即是ASML，EUV对付大范围分娩速率疾、能耗低的芯片至闭苛重，但

　　为此，从2017年先导，佳能就与铠侠，以及半导体零组件筑设商大日本印刷株式会社（DNP）协作，研发基于纳米压印（NIL）的量产身手，正在倒霉用EUV的环境下将造程身手胀动到5nm泛亚电竞。

　　佳能流露泛亚电竞，这套分娩筑造的劳动道理和ASML光刻机分歧，并不诈欺光学图像投影的道理将集成电途的微观布局变动到硅晶圆上，而是更雷同于印刷身手泛亚电竞生产设备，直接通过压印酿成图案。

　　铠侠已经流露，因为NIL身手的微影造程较为纯正，以是比拟于EUV能够大幅裁减耗能，并低落筑造本钱泛亚电竞泛亚电竞。

　　御手洗富士夫还流露：“我不以为纳米压印身手会庖代EUV，但我信赖这将造造新的机缘和需求，并且咱们依然收到了良多客户的商议。”佳能押注“纳米压印”芯片坐褥建建：比ASML E泛亚电竞UV售价少一位数