绕过EUV光刻机本事佳能初步泛亚电竞发卖5nm芯片分娩建设

2023-10-19点击量：929

　　10月14日讯息，光刻机大厂佳能（Canon）公司即日通过讯息稿告示，其仍旧起头出售基于“纳米印刷”（Nanoprinted lithography）工夫的芯片坐蓐设置 FPA-1200NZ2C。佳能流露，该设置采用分歧于纷乱光刻工夫的计划，能够修设5nm芯片。

　　正在半导体系程工夫进入5nm节点之后，EUV光刻机仍旧成为了不行或缺的枢纽设置泛亚电竞。可是，由于EUV光刻机造价激昂，每台价钱抢先1亿美元，况且EUV光刻机仅荷兰ASML一家形成可能供应，且产能有限，这使得芯片的坐蓐本钱大幅升高。

　　为此，从2017 年起头，半导体设置厂佳能就与存储芯片大厂铠侠，以及光罩等半导体零组件修设商大日本印刷株式会社（DNP）协作，正在日本三重县四日市的铠侠工场内研发基于纳米压印(NIL) 的量产工夫，能够倒霉用EUV光刻机，就能使造程工夫胀动到5nm。

　　佳能流露，这套坐蓐设置的任务道理和行业元首者 ASML 的光刻机分歧，其并不使用光学图像投影的道理将集成电途的微观组织转变到硅晶圆上，而是更相似于印刷工夫，直接通过压印变成图案生产设备。

　　相较于目前已商用化的EUV光刻工夫，铠侠正在2021年就曾流露，NIL 工夫可大幅删除耗能，并下降设置本钱。原故正在于NIL 工夫的微影造程较为纯洁，耗电量可压低至EUV 工夫的10%，并让设置投资下降至仅有EUV 设置的40%。目前，EUV光刻机只要荷兰ASML一家可能坐蓐供应，其不光价钱高，况且须要很多检测设置的配合。

　　可是，固然NIL 工夫有很多的所长，但现阶段正在导入量产上仍有不少题目有待管理，此中包含更容易因氛围中的微幼尘土的影响而变成瑕疵。

　　对铠侠来说，NAND 零组件由于采用3D 立体堆叠组织，更容易符合NIL工夫造程。铠侠当时就流露，今朝已管理NIL 的根基工夫题目泛亚电竞，正正在举办量产工夫的胀动任务，心愿能较其他比赛敌手率先引入到NAND 坐蓐当中。而一朝铠侠能得胜率先引入NIL 工夫并杀青量产，希望补偿正在设置投资竞赛中的倒霉情景，又能适应删除碳排放的需求泛亚电竞。

　　遵循DNP 的说法泛亚电竞，NIL 量产工夫电途微缩水平可达5nm节点，而DNP 从2021 年春天起头，就仍旧正在遵循设置的规格值举办内部的模仿仿真当中。而看待如此的工夫进取，DNP 也显露，从半导体修设商对NIL 量产工夫讯问度的增多，显示不少厂商对NIL 工夫寄予厚望泛亚电竞。

　　可是，铠侠正在对NIL工夫举办测试之后，遭到了潜正在客户提出的投诉，以为产物缺陷率较高泛亚电竞，结尾并未本质利用。

　　行为枢纽的设置供给商，佳能正在促进NIL工夫量产NAND的同时，也努力于将NIL 量产工夫平常的利用于修设DRAM 及PC 用的CPU 等逻辑芯片的设置上，以正在将来供应多的半导体修设商，也心愿能利用于手机利用途理器等最优秀造程上。

　　此次佳能揭橥的这套设置能够利用于最幼14平方毫米的硅晶圆，从而能够坐蓐相当于5nm工艺的芯片。绕过EUV光刻机本事佳能初步泛亚电竞发卖5nm芯片分娩建设