2021中国MEMS10强企泛亚电竞业附23条MEMS出产线汇总

2023-10-13点击量：850

　　10月27日，2021年中国MEMS造作大会（China MEMS）正在姑苏举办，这是目前中国MEMS行业最具影响力的大会，由中国独一的MEMS行业结构——中国半导体行业协会MEMS分会协同微纳造作中试平台、中科院纳米所等举办，本年仍然是第三届。

　　会上，举办了“2020年中国半导体MEMS十强企业”颁奖典礼，宣告了上一年度国内精良的MEMS企业十强名单，该名单是目前国内最威望的MEMS企业名录，代涌现正在中国MEMS范畴能力最强的10家头部企业。

　　歌尔微电子建树于2001年6月，2008年5月正在深交所上市，闭键聚焦MEMS麦克风及模组、智能传感器及模组、SiP封装等干系生意，静心于MEMS干系产物的自立研发计划与造作，其产物已普通行使于智高手机、无线耳机、智能穿着、智能家居、无人机及汽车电子等范畴。

　　《中国传感器成长蓝皮书》首批36家拥有影响力的传感器企业之一，中国微型麦克风代表性企业，正在微型麦克风范畴，商场占据率居寰宇同业业之首。据Yole Development 《202年MEMS物业近况讲演》显示，歌尔正在2020年环球MEMS厂商营收排名中升至第六位，继客岁初次跻身前十后，仅用一年时候排名升至第六，也是前十名中唯逐一家中国企业，讲演还指出，正在MEMS麦克风方面，歌尔15年来初次跨越楼氏电子成为行业第一。

　　上市企业，上半年市值约1351亿元，2021上半年营收302.88亿元，同比增进94.49%；上半年净利润17.31亿元，同比增进121.71%

　　瑞声科技控股有限公司为智能开发供给当先的微型专有本事处理计划，正在声学、光学、触觉反应、周密造作、微机电、无线射频和天线范畴具有资料研发、仿真、算法、计划、自愿化以及工艺开辟等尖端本事。

　　集团正在计划和大宗量高周密造作方面有近三十年体味，《中国传感器成长蓝皮书》首批36家拥有影响力的传感器企业之一，中国电声元器件代表性企业，环球知名的电声元器件造作商之一，2005年正在香港上市。正在微型声学、触觉、MEMS麦克风范畴，永别被工信部认定为我国造功课单项冠军树模企业。现已成为环球当先的同业、IT及消费电子商场微型元器件具体计划供货商。

　　港股上市企业，上半年市值约316.94亿元，2021上半年营收86亿港元，同比增进9.90%；上半年净利润9.21万港元，同比增进187.40%

　　华润微电子是2002时光润集团收购华晶集团改组而成，是当先的半导体和智能传感器供应商，总部位于无锡，具有3条6英寸线，个中MEMS产线是国内周围最大的与CMOS临蓐线兼容的MEMS传感度量产临蓐线，拥有国内当先秤谌的 MEMS 皮相和体硅加工本事，用于造作压力、硅麦克风、光电、温湿度等MEMS传感器。

　　华润微电子8吋MEMS的3000片/月产能扩充仍然实现，并参加行使。光电及MEMS麦克风工艺平台从6英寸升级到8英寸，实行批量临蓐，产物机能及良率秤谌精良；具体晋升了其MEMS工艺本事秤谌和比赛本事。

　　上市企业，上半年市值约908.9亿元，2021上半年营收44.55亿元，同比增进45.44%；上半年净利润10.68亿元，同比增进164.86%

　　姑苏敏芯微电子本事股份有限公司建树于2007年9月，是一家专业从事微电子板滞体例传感器研发计划的高新本事企业，公司总部正在姑苏工业园区，并正在姑苏工业园区、昆山设有传感器产物造作工场。

　　目前，依靠自立学问产权的芯片计划，并与国际出名Fab厂和封装厂配合，实现了公司产物的研发与物业化，并启发了MEMS上下游物业链的成长。公司三大产物线永别为MEMS麦克风、MEMS压力传感器和MEMS惯性传感器，行使场景涵盖了消费电子、医疗、工业支配以及汽车电子等范畴。

　　《中国传感器成长蓝皮书》首批36家拥有影响力的传感器企业之一，EET电子工程专辑（中国）2021年中国传感器公司TOP10之一。敏芯行动中国最早建树的MEMS研发公司之一，现已具有无缺的芯片计划、晶圆造作、封装与测试等全物业链的自立研发计划本事，依靠统统自立计划的MEMS芯片与ASIC芯片告成冲破了海表厂商历久垄断的形式，为MEMS全物业链的国产化摸索了一条无缺的道道。

　　上市企业，上半年市值约51.55亿元，2021上半年营收1.87亿元，同比增进40.17%；净利润1021.77万元，同比增进-40.05%

　　中国电子科技集团第十三探讨所全资子公司，中国MEMS行业协会理事长单元，特意全力于MEMS（微电子板滞体例）器件与体例的研发、临蓐和发售。一连多年荣获“中国半导体MEMS十强企业”，是国内最大的MEMS中心芯片、器件和体例产物供应商，中国MEMS本事引导者。

　　《中国传感器成长蓝皮书》首批36家拥有影响力的传感器企业之一，中国MEMS传感器代表性企业，EET电子工程专辑（中国）2021年中国传感器公司TOP10之一。上风产物包含MEMS惯性器件与体例、MEMS传感器、汽车传感器、压力传感器、射频（RF）MEMS器件等，产物普通行使于航空航天、高铁、汽车、自愿驾驶、通讯、地动监测、物联网、聪明都会、智能家电等范畴。

　　2015年中电十三所的“6英寸SOI MEMS法式加工本事及正在高机能MEMS 器件中的行使”通过科技部结构的专家验收，用于MEMS陀螺仪、加快率计、振动传感器、碰撞传感器、MEMS光开闭、VOA及压力传感器等高机能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸产线 美新半导体（天津）有限公司

　　美新半导体（MEMSIC）是环球当先的惯性MEMS传感器及处理计划供给商，于1999年建树, 目前总部位于中国天津，正在美国圣何塞和中国无锡、上海、深圳、台北设有研发机构，正在中国无锡、上海具有造作和封测工场，发售及本事支撑收集广博亚太，北美，欧洲，非洲和中东等区域。

　　《中国传感器成长蓝皮书》首批36家拥有影响力的传感器企业之一，中国惯性传感器代表性企业，EET电子工程专辑（中国）2021年中国传感器公司TOP10之一，原创开辟了基于法式CMOS流程的微机电体例和环球当先的造作工艺和测试本事，告成研发出30多种型号的加快率传感器、磁传感器等产物。

　　2007年正在NASDAQ上市，是环球第一家MEMS上市公司。2020年，美新取得mCube独家授权其一齐惯性传感器芯片本事，周至组织电容式加快率计和陀螺仪范畴。比来实现10亿百姓币A轮融资，国内最大的MEMS惯性传感器公司，具有特性工艺MEMS临蓐线 姑苏纳芯微电子股份有限公司

　　姑苏纳芯微电子是高机能高牢靠性模仿芯片的研发计划企业。公司自2013年建树从此，静心于盘绕各个行使场景举办产物开辟，由传感器信号调动ASIC芯片动身，向前后端拓展了集成式传感器芯片、远离与接口芯片、驱动与采样芯片，变成了信号感知、体例互联与功率驱动的产物组织。

　　正在搀和信号处置、高耐压数字远离、集成式传感器计划等范畴具有独立学问产权和富厚本事贮备，产物已行动新能源汽车、工业自愿化等行使的要害芯片，告成进入多个行业一线客户的供应编造并实行大周围量产。同时公司延续加大各行使场景的产物研发，产物被普通行使于国内出名品牌客户，涵盖消息通信、工业支配、汽车电子和消费电子等范畴。

　　上海矽睿科技有限公司建树于2012年9月，静心于MEMS智能传感器生意，计划和临蓐优质传感器产物，并为客户供给相应的智能行使计划和任事。

　　矽睿科技具有统统自立学问产权，申请并告成授权70余项国际国内发觉专利，专利组合笼罩MEMS工艺造程、传感器计划和ASIC计划、算法和体例行使软件等。《中国传感器成长蓝皮书》首批36家拥有影响力的传感器企业之一，专业从事高端MEMS传感器和践诺器、微体例等本事与产物的开辟、临蓐及发售。

　　西人马协同测控建树于2017年，总部坐落于福筑，北方总部坐落于北京、南方总部坐落于深圳，欧洲总部坐落于法国巴黎。西人马协同测控总人数近1000人，个中科研职员约600人，具有跨越500项专利，并以每年30%以上的速率递增。

　　EET电子工程专辑（中国）2021年中国传感器公司TOP10之一，采用IDM形式，静心于传感器芯片及干系调动芯片的研发、计划、造作和封测。

　　行动一家IDM芯片供应商，西人马具有进步的MEMS\ASIC\SoC以及非硅基芯片的计划、造作、封测本事，基于这些进步的中心本事，西人马既可能稀少给客户供给高品格的芯片产物，也可能供给相应的模组和处理计划，运用西人马进步的传感器、边沿筹算产物和相应的开辟套件帮帮客户敏捷地搭筑起拥有监测与支配成效的A-IoT体例。

　　华虹由原上海华虹NEC电子有限公司和上海宏力半导体系作有限公司归并而成，自创立中国大陆第一条8英寸（200mm）集成电道临蓐线起步，华虹宏力正在上海金桥和张江共有三座8英寸晶圆厂（华虹一厂、二厂及三厂），月产能约18万片。

　　正在8英寸造作平台上，华虹实行MEMS器件与法式CMOS工艺及临蓐线的全兼容。已流片的产物包含磁力计、加快率计、压力传感器等。

　　睿创微纳总部位于山东烟台，是从事专用集成电道、红表热像芯片及MEMS传感器计划与造作的企业。

　　睿创微纳的8英寸MEMS晶圆临蓐线由公司与代工场共筑泛亚电竞，已量产，月产能1500片晶圆泛亚电竞。

　　2020年7月泛亚电竞，与烟台开辟区订立允诺，创立一条8英寸MEMS工艺线和一条化合物半导体工艺线。个中，化合物半导体芯片工艺线面向半导体激光器、光电探测器、微波器件以及功率器件；MEMS工艺线面向高端光学MEMS器件、RF MEMS器件和惯性MEMS传感器等。8、罕王微电子（IDM&代工）

　　罕王微电子是一家以MEMS传感器计划及造作临蓐为中心的高科技中美合股企业，总部位于辽宁省沈抚新区，系罕王集团控股子公司。

　　罕王微电子2016年收购美信旗下MEMS传感器生意，2018年筑成国内首条8英寸纯MEMS周围化量产线泛亚电竞，工艺本事涵盖MEMS芯片临蓐全流程，计划晶圆产能36万片/年。临蓐传感器包含：陀螺仪、IMU惯性丈量单位、射频RF-MEMS及加快率、温度、湿度、压力、应力传感器等。

　　9、河北美泰（IDM）中国电子科技集团第十三探讨所全资子公司，2015年中电十三所的“6英寸SOI MEMS法式加工本事及正在高机能MEMS 器件中的行使”通过科技部结构的专家验收。

　　6英寸SOI MEMS法式工艺和封装本事用于MEMS陀螺仪、加快率计、振动传感器、碰撞传感器、MEMS光开闭、VOA及压力传感器等高机能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸产线、厦门西人马（IDM）

　　西人马（FATRI）是一家芯片IDM公司，旗下西人马协同测控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）建树于2017年，是西人马MEMS高端传感器和芯片造作基地，占地70亩，开发面积20000㎡，拥有6000㎡的超净车间和进步微纳米探讨实践室，装备8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能传感器芯片产线和中国进步的MEMS器件加工平台。

　　西人马19年11月取得朗润基金数万万A轮融资，20年一季度取得A+轮的1亿元百姓币融资，本年3月获B轮融资，成长迟缓，西人马仍然成为国内MEMS范畴IDM芯片公司的鳌头，红表和压力传感器逐日产量可能到达几十万颗。

　　奥松电子建树于2003年，静心于MEMS半导体工艺本事，是国内率先行使MEMS半导体工艺本事临蓐传感器芯片的高新本事企业，也是广东省MEMS范畴集研发、计划、造作、封装测试、终端行使为一体的MEMS智能传感器全物业链（简称IDM）企业。

　　2019年奥松电子斥巨资打造MEMS半导体芯片临蓐线，一期工程净化车间总面积约2500平方米，筑设湿法冲洗区、百级干净度光刻区、千级干净度镀膜区、千级干净度刻蚀区、千级干净度离子注入区及视察通道等。

　　2020年9月，广州奥松电子有限公司6英寸MEMS半导体传感器芯片临蓐线正式参加运营，告成量产出温湿度、流量、气体、差压、风速等传感器芯片。

　　奥松电子MEMS半导体临蓐线纳米MEMS半导体工艺造程，临蓐开发约占一共投资周围的70%。按照计议，2021年二期工程将筑成350纳米造程工艺MEMS半导体临蓐线纳米造程工艺MEMS半导体临蓐线；总项目整体筑成投产后，每月流片周围将到达4万片，2021年8月，奥松电子官网宣告对表怒放MEMS芯片代工生意，包含开发共享、本事支撑、企业孵化等任事。

　　2021年4月奥松电子控股的全资子公司——奥松半导体（珠海）有限公司泛亚电竞，将正在珠海高新本事物业开辟区创立8英寸进步MEMS特性半导体IDM物业基地项目。该项目筑成后，将成为国内进步的MEMS芯片及智能传感器物业集群，抬高MEMS芯片的代工和量产本事。

　　诺思微体例位于天津生产设备，是一家无线开发射频前端MEMS滤波芯片任事商，其产物闭键采用薄膜体声波谐振器(FBAR)本事以及硅衬底的微机电体例(MEMS)造作本事，同时为无线射频滤波器、双工器、和多工器等供给处理计划。

　　诺思微已投产一条6英寸MEMS晶圆临蓐线英寸工艺研发线。厂房和研发核心总占地面积2.7万平方米。

　　2021年3月，国度重心研发策画“造作根蒂本事与要害部件”重心专项项目“硅基MEMS压电薄膜及器件要害本事与平台”的项目正在诺思微体例启动，针对5G/6G无线通信、物联网等对射频滤波器、智能传感器提出新的本事央浼，对实行晶圆级硅基MEMS压电器件的大周围临蓐、开脱我国目前要害MEMS压电器件受造于人的事势，有要紧意旨。

　　2021年8月实现4亿元融资，估计正在一年内周至加快产能开释，达年产20亿颗滤波器芯片的产能周围。13、多维科技（IDM&代工）

　　建树于2010年，总部正在江苏张家港，创立有无缺的第四代磁传感本事——地道磁电阻（TMR）的磁性感到芯片产线。

　　多维科技的磁传感器晶圆代工场具有6英寸和8英寸MEMS晶圆产线，供给无缺的磁传感器（AMR / GMR / TMR）开辟及晶圆造作任事（包含计划、造作和测试），年产10亿个TMR磁传感器。

　　2021年5月多维科技获4亿元融资，将用于对现有产线举办升级，不妨进一步深化“自研、自产生产设备、本事当先”的中心比赛力。

　　14、湖南启泰传感科技（IDM）2006年建树，总部正在湖南浏阳。启泰传感以王国秋教诲为首的科研团队攻陷了异质膜要害工艺与本事，创立国内第一条金属基薄膜力敏芯片——MEMS压敏传感芯片临蓐线，是寰宇上少数几家拥有金属溅射薄膜压敏芯片周围化临蓐本事的公司之一。

　　2019年8月该临蓐线实行批量临蓐，年产压敏传感芯片50万颗，至2021年一期工程就手完竣投产，用地面积35亩，创立总用地面积2万多平米，传感器芯片年临蓐本事可达600万颗，传感器封装200万支，年产值可达10亿元。

　　二期项目正正在举办，估计完竣后，传感器芯片产能将达2000万颗，传感器封装1000万支，年产值可达50亿元。

　　高德红表创立于1999年，总部位于武汉，具有8 英寸 0.25um 批产型 MEMS 临蓐线，是目前国内唯逐一条自立可控且具备批产本事的非造冷红表焦平面探测器临蓐线 从低到高各种面阵规格产物型号批产本事。

　　高德红表目前已具有3条8英寸红表探测器产线月音尘，岁晚将有新产线、武汉衍熙微器件（IDM）

　　武汉衍熙微器件具有世界第一条8寸体声波（BAW）量产线，拥有进步的光刻、薄膜、蚀刻以及封装开发，并开发立异自立开辟的产物临蓐流程。该产线闭键产物有MEMS滤波器、双工器等。2018年，武汉衍熙微器件举办项目扩筑，一期为租赁现有厂房5600平方米，创立3600平方米的无尘室车间；二期策画创立约10000平方米的无尘室车间，用于扩充临蓐。

　　杭州士兰微1997年建树，是国内周围最大的集成电道芯片计划与造作一体（IDM）的企业之一。自2010年最先，士兰微电子参加洪量资金，通过对加快率传感器、地磁传感器、压力传感器等一系传记感器产物的开辟，正在6吋、8吋芯片临蓐线上实行了批量造作本事，并开发我方的MEMS封测临蓐线，开头走通了系传记感器的IDM成长之道，已申请干系发觉专利百余项。目前士兰微MEMS传感器产物系列富厚，有：MEMS加快率计、三轴AMR磁传感器、六轴惯性传感器、高机能MEMS麦克风、数字三合一传感器、心率传感器、高机能气压压力传感器等。

　　2021年7月30日，士兰微发出资产重组布告，引入国度集成电道物业投资基金股份有限公司，召募11亿元。

　　姑苏固锝建树于1990年，是国内二极管龙头企业，旗下子公司明锐光电、明皜传感、艾特曼电子等涉足MEMS传感器IDM生意。

　　2010年固锝收购明锐光电泛亚电竞，明锐光电闭键从事MEMS-CMOS三维集成造作平台本事及八寸晶圆级封装本事及产线年建树明皜传感，从事微机电传感器芯片和器件的工艺开辟、计划。2021年8月，明皜传感获幼米投资，注册血本由 6443.64 万元百姓币填补至 7085.19 万元百姓币，增幅为 9.96%。

　　2012年建树艾特曼电子，闭键从事晶圆级MEMS器件封装工艺及干系中心本事的开辟并供给代工任事，任事范畴涵盖消费类电子产物、汽车电子、工业支配、家电范畴惯性传感器（加快率计、陀螺仪）以及红别传感器等。

　　2021年6月，姑苏固锝与华景传感合股建树华锝半导体，愿景是将华景传感的MEMS麦克风芯片计划本事与姑苏固锝的封测本事及临蓐体味相集合，慢慢实行MEMS麦克风正在高端范畴的进口替换。

　　同月，华锝MEMS声学传感器及射频滤波器封测项目落户姑苏。项目一期产线将开发契合华为编造法式的MEMS声学传感器的封测基地，闭键客户有幼米、科大讯飞等；二期将引入国内始创MEMS麦克风及射频滤波器的WLP晶圆级封装产线，该晶圆级封装为芯片流片工艺末了一道要害工艺，华锝将具有自立晶圆级封装干系自立本事学问产权。19生产设备、姑苏纳米城（中试线）

　　姑苏纳米城6英寸MEMS中试线由姑苏纳米科技成长有限公司（姑苏工业园区当局出资）创立，是江苏省“十二五”强大科技平台项目。

　　姑苏6英寸微纳机电造作（MEMS）中试线采用商场化、全怒放的运作形式，闭键展开MEMS产物工艺研发、MEMS加工、片面封装测试、专利运营、开发租赁、超净场面租赁、工艺本事培训等十多项专业任事，目前已告成导入压力传感器、微镜传感器、微流体传感器等产物

　　该产线由清华大学、淄博高新区MEMS探讨院和国高(淄博)微体例科技有限公司联合实现。

　　是国内首条硅基4/6英寸兼容MEMS中试代工平台，超净周围国内一流；装备了国际一流开发的中试代工线，中试临蓐本事可达月产传感器十万只，产物的测试境况也居国内进步秤谌。21、中科院微电子所（中试线年由中科院微电子所设立的MEMS研发平台，其8英寸MEMS中试线%；针对三轴重力加快率计、基于氧化钒的红表图像传感器、医用CT中X-ray探测、基于薄膜体声波滤波器（FBAR）、MEMS红表探测器等产物。

　　22、上海微本事工研院（中试线年，上海微本事工业探讨院（以下简称“工研院”）修筑的国内首条，环球当先，兼容CMOS的8英寸研发中试线正式参加运营，月产量将到达3000件。

　　该产线安置了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁传感、功率及生物等干系工艺和量测开发。行动国内第一条进步8英寸研发中试线英寸研发中试线不光可担任产物研发、幼批量临蓐、本事培训、开发验证等任事，有帮于晋升研发的告成率。

　　本年6月，上海微本事工研院宣告将8英寸线每年四分之一的总机时资帮给上海大学，用于微电子学院教学践诺，为期5年。23、中科院上海微体例所（研发平台）

　　中国科学院上海微体例所现有的MEMS本事平台由微体例加工平台和微体例封装平台两片面构成，永别位于上海微体例所漕河泾园区内主楼的一层和二层净化间内。

　　一共平台具有100多台套进步的大中型开发，总代价达1.1亿元，可能实现从微芯片造作、芯片封装、器件测试、微体例集成等成套工艺，为微体例探讨供给有力的本事保证。根源：今日半导体

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